日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU7000:
此次推出的SU7000采用全新設計的探測器,使得對二次電子信號、背散射電子信號的檢測以及分離能力大大提升。以前我們要根據獲得的信號來調整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡稱WD),以設置最 佳的觀察與分析條件,而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統,可在不改變WD的條件下更高效地接收各種信號,縮短了樣品觀察和分析的時間,提高了測試效率。而且,SU7000還配置了可同時6通道顯示界面(前代機型只能同時顯示4通道),進一步升級SEM控制系統,大幅提高了信號獲取速度,由此實現了樣品的高通量觀察。它還標配超大樣品倉,增設了附件接口,可適用于各種樣品的觀察與分析。
日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU7000創(chuàng)新點:
SU7000配置了可同時6通道顯示界面(前代機型只能同時顯示4通道),進一步升級SEM控制系統,大幅提高了信號獲取速度,由此實現了樣品的高通量觀察。
標配超大樣品倉,增設了附件接口,可適用于各種樣品的觀察與分析;
SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統,可在不改變工作距離的條件下更高效地接收各種信號,縮短了樣品觀察和分析的時間,提高了測試效率。
主要特點:
1.在相同WD的條件下,可同時實現二次電子、背散射電子觀察與X射線熒光分析
2.可同時實現6通道檢測與顯示
3.在最 大像素10240 x 7680時,也可獲得圖像數據
4.同級別*設備中最 多的可配置18個附件接口5.支持低至300Pa的低真空模式(選配);*空間分辨率在1 nm/1 kV以下